下载一种半导体晶圆插针全自动打磨设备的技术资料

文档序号:28544823

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本发明公开了一种半导体晶圆插针全自动打磨设备,包括工作台,所述工作台上分别设置转盘组件、上料装置、第一顶升装置、第二顶升装置、第一打磨装置、第二打磨装置、第一翻转装置、第三打磨装置、第二翻转装置、第四打磨装置和下料装置,所述转盘组件设置于所...
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