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本申请涉及光电探测单元、光电探测结构及其制备方法、光电探测器及其制备方法,其中,光电探测单元包括第一基底;第一结构,具有第一掺杂类型,形成于第一基底的正面上;第二结构,具有第二掺杂类型,形成于第一结构内,第一结构具有包围第二结构底面和侧面的...该专利属于深圳市灵明光子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市灵明光子科技有限公司授权不得商用。
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