下载扫描探针显微镜的测量装置和利用扫描探针显微镜对测量样品进行扫描探针显微测试的方法的技术资料

文档序号:28538147

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本发明涉及测量装置、扫描探针显微镜和对测量样品进行测试的方法。用于扫描探针显微镜的测量装置具有:样品容纳部,其设置成用于容纳要测试的测量样品;测量探针,其设置在探针支架上并且具有探针尖,该测量样品能够利用所述探针尖进行测量;移位装置,其设置...
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