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本实用新型提供了一种用于真空镀膜的升华加热装置,包括升华管和升华炉,升华炉通过移动组件滑动套设在升华管外;移动组件包括第一滑轨和第二滑轨,第一滑轨和第二滑轨上均滑动安装有滑轮;第一滑轨的长度方向与升华管一致;第二滑轨的长度方向与第一滑轨垂直...该专利属于派珂纳米科技(苏州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过派珂纳米科技(苏州)有限公司授权不得商用。
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