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基于表面质量控制光学指取设备的光源制造技术
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下载基于表面质量控制光学指取设备的光源的技术资料
文档序号:2852099
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本发明公开了一种方法,用于控制光学指取设备的光源,该方法包括生成质量数据,该质量数据代表正由光学指取设备成像的成像表面的表面质量。该方法包括基于所生成的质量数据来控制所述光源。...
该专利属于安华高科技ECBUIP(新加坡)私人有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安华高科技ECBUIP(新加坡)私人有限公司授权不得商用。
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