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一种缓冲腔和晶圆传送系统，缓冲腔包括：位于第一缓冲腔室主体中的若干层第一冷却盘，第一冷却盘包括第一晶圆接触区；位于第一晶圆接触区侧部且贯穿第一冷却盘的第一位移口；第一升降单元，第一升降单元包括位于第一支撑组件，第一支撑组件适于支撑晶圆的边缘...
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