下载一种高熵金属玻璃防护涂层及制备方法的技术资料

文档序号:28501065

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本发明提供了一种高熵金属玻璃防护涂层及制备方法,将锆基多元素靶材切割组成溅射靶材,铝单独作为一个溅射靶材,将单晶硅分别贴在溅射靶材和铝靶材上,通过控制不同靶材的暴露面积,进行高熵合金涂层成分的精细调控。涂层制备使用高真空单室三靶磁控溅射系统...
该专利属于郑州大学所有,仅供学习研究参考,未经过郑州大学授权不得商用。

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