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本发明涉及一种实现注入电荷驱动的微泵芯片结构，包括泵腔体和两个扩展腔体和两个被动阀构成，所述的微泵芯片由上极板和下极板通过熔融材料层键合构成，所述的上极板和下极板均由键合框架和通过矩形环弹簧支撑的悬挂矩形板构成，且上极板和下极板的键合框架内...
该专利属于汤易天所有，仅供学习研究参考，未经过汤易天授权不得商用。

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