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本发明公开了一种集成电路制造用加工设备及集成电路制造工艺，涉及集成电路制造技术领域，包括工作板，所述工作板的顶部固定连接有加工箱，所述加工箱的内部设置有两块输送板，所述输送板的两端均延伸至加工箱的外侧，该集成电路制造用加工设备，通过设置有叶...
该专利属于合肥坤雄智能制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥坤雄智能制造有限公司授权不得商用。

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