下载一种通过异质外延保护环辅助单晶金刚石生长的方法的技术资料

文档序号:28494472

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本发明公开了一种自适应协同外延生长单晶金刚石辅助环,用于设置在单晶金刚石衬底外围一周,为异质外延结构,包括:自下而上逐层分布的非金刚石衬底、异质外延形核缓冲层和单晶金刚石形核层;单晶金刚石形核层的晶向与待生长的单晶金刚石面的晶向一致。利用金...
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