下载一种芯片横截面识别标记及其制作方法的技术资料

文档序号:28493039

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本发明公开了一种芯片横截面识别标记及其制作方法,包括若干个金属层和布置在金属层之间的金属通孔层,所有金属层和金属通孔层共同形成了整个识别标记的形状;识别标记插在待插入识别标记的芯片横截面图中不影响芯片原有功能与性能的位置。先确定预设的识别标...
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