温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供了一种基于半球形FP腔片上集成光机加速度计及制造方法，采用双层悬臂梁对称分布的微加速度敏感结构和半球形FP腔的结构设计，解决高精度光学式MEMS加速度计中存在的交叉轴串扰和位移测量精度不高等问题，包括惯性质量块、硅框架、悬臂梁、硅...该专利属于华中光电技术研究所（中国船舶重工集团公司第七一七研究所）所有，仅供学习研究参考，未经过华中光电技术研究所（中国船舶重工集团公司第七一七研究所）授权不得商用。