下载一种防尘效果好的半导体器件制造用加工设备的技术资料

文档序号:28491343

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本发明公开了一种防尘效果好的半导体器件制造用加工设备,包括支撑板,所述支撑板顶部的正面和背面均栓接有支撑架,所述支撑架的顶部栓接有加工箱,所述加工箱的内腔设置有防尘机构,所述加工箱内腔的顶部设置有配合防尘机构使用的吸尘机构。本发明通过第一气...
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