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本发明公开了用于监控材料处理系统的改进的系统和方法，其中该材料处理系统包括一个处理工具、连接到处理工具以生成并传送电数据的若干ＲＦ响应电传感器、配置为从若干ＲＦ响应电传感器接收电数据的传感器接口集合（ＳＩＡ）。...
该专利属于皇家飞利浦电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过皇家飞利浦电子股份有限公司授权不得商用。

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