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一种无线智能切换的离子源灯丝及离子注入设备制造技术
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文档序号:28465540
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本实用新型公开了一种无线智能切换的离子源灯丝,包括至少两个灯丝、电源模块、切换模块和智能控制模块,所述电源模块通过所述切换模块与所述至少两个灯丝切换连接;所述智能控制模块连接控制所述切换模块进行切换,具有无线通讯单元,所述无线通讯单元用于通...
该专利属于庄泽如所有,仅供学习研究参考,未经过庄泽如授权不得商用。
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