下载计测装置、计测方法和显微镜系统的技术资料

文档序号:28447615

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计测装置(1)具备:摄像部(5),其具备至少物体侧为远心的光学系统(8),取得被摄体(A)的图像;旋转移动部(6),其使摄像部(5)和被摄体(A)绕与光学系统(8)的光轴交叉的轴线相对地旋转移动;角度检测部(7),其检测通过旋转移动部(6)...
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