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一种形成声学换能器的方法包括提供基板以及在基板上沉积第一结构层。选择性地蚀刻第一结构层，以在第一结构层上形成封闭沟槽或封闭柱中的至少一者。在第一结构层上沉积第二结构层，并且第二结构层包括分别与封闭沟槽或柱对应的凹陷或凸块。将至少第二结构层加...
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