下载一种低辐射镀膜线用遮板装置的技术资料

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本实用新型涉及磁控溅射镀膜技术领域,具体是一种低辐射镀膜线用遮板装置,包括遮挡板和密封轴,所述遮挡板和所述密封轴的一端固定连接,所述密封轴的另一端设置有环套,所述密封轴上分别设置有第一密封件、第二密封件、U型无骨架油封密封圈、骨架油封密封圈...
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