温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种制造具有平面内及出平面运动的一装置的方法，该方法包括：提供一平面内运动驱动器，用于相对于一参考平面以三个自由度移动安装于其上的一应用组件；以及提供一出平面运动驱动器，于其上承载该平面内运动驱动器，且该出平面运动驱动器具有一底部...
该专利属于躍旺创新股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过躍旺创新股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。