下载一种肖特基二极管及其制备方法的技术资料

文档序号:28381061

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本申请涉及一种肖特基二极管,包括壳体和本体,本体包括:重掺杂N型SiC衬底;轻掺杂N型SiC层,其生长在重掺杂N型SiC衬底上;重掺杂P型环区,其形成于轻掺杂N型SiC层上;轻掺杂P型环区,其形成于重掺杂P型环区内;介质保护层,其沉积在轻掺...
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