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本发明提供一种光学指纹器件及其制造方法,该方法包括如下步骤:S100:提供第一面上形成有图像传感器的第一晶圆;S200:在第一晶圆的第一面上设置由第二晶圆形成的挡光结构;S300:将透光层粘合至挡光结构;S400:在透光层上形成若干微透镜;...该专利属于格科微电子(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过格科微电子(上海)有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种光学指纹器件及其制造方法,该方法包括如下步骤:S100:提供第一面上形成有图像传感器的第一晶圆;S200:在第一晶圆的第一面上设置由第二晶圆形成的挡光结构;S300:将透光层粘合至挡光结构;S400:在透光层上形成若干微透镜;...