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一种基于圆二色性的压力传感装置制造方法及图纸
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下载一种基于圆二色性的压力传感装置的技术资料
文档序号:28369040
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本发明属于压力传感技术领域,具体涉及一种基于圆二色性的压力传感装置,包括有缝隙的金属膜、柔性材料一、金属块、柔性材料二、金属颗粒、带孔洞的柔性材料和矩形空腔,所述有缝隙的金属膜上设置有柔性材料一。本发明通过两个错位的金属块通过和连续的金属薄...
该专利属于彭彦莉所有,仅供学习研究参考,未经过彭彦莉授权不得商用。
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