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本发明提供了一种大尺寸光学陀螺楔形腔及其制备方法和应用，其制备方法包括：依次在Si晶元表面构建SiO...
该专利属于华中光电技术研究所(中国船舶重工集团公司第七一七研究所)所有，仅供学习研究参考，未经过华中光电技术研究所(中国船舶重工集团公司第七一七研究所)授权不得商用。

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