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本发明公开了一种实时超声刺激电信号记录芯片及其制备方法，该制备方法包括以下步骤：S1，在压电基底上制作叉指电极，得到声表面波芯片；并制作记录电极和电极引线S2，在S1得到的芯片上制作绝缘保护层，并对绝缘保护层处理形成记录电极，得到将叉指电极...
该专利属于中国科学院深圳先进技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院深圳先进技术研究院授权不得商用。

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