下载一种天线反射器双面金属薄膜图形整体精确定位方法的技术资料

文档序号:28299211

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本发明公开了一种天线反射器双面金属薄膜图形整体精确定位方法,通过在反射器裙边位置制备正反双面一体化靶标,从而避免或减小由于反射器正反两面靶标自身精度误差带来的影响;并将CCD可视放大辅助定位技术应用于天线反射器激光刻蚀,从而大幅度提高天线反...
该专利属于兰州空间技术物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过兰州空间技术物理研究所授权不得商用。

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