下载激光掺杂设备的技术资料

文档序号:28298732

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本发明涉及一种激光掺杂设备,包括若干物料搬运机构、若干激光掺杂机构及中转机构,所述物料搬运机构用于上料,所述激光掺杂机构用于对工件进行激光掺杂,所述中转机构设于所述物料搬运机构和所述激光掺杂机构之间,所述中转机构能够从所述物料搬运机构承接工...
该专利属于大族激光科技产业集团股份有限公司;深圳市大族光伏装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过大族激光科技产业集团股份有限公司;深圳市大族光伏装备有限公司授权不得商用。

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