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本发明涉及半导体设备技术领域，具体地说，涉及基于超声震动式处理的半导体晶圆的清洗装置和方法。其包括清洗机，清洗机至少包括：清洁体，清洁体包括清洁箱，清洁箱设置有清洗槽，清洁箱设置有进水管，清洗槽设置有出水管，出水管设置有阀门，清洗槽设置有震...该专利属于亚电科技南京有限公司;江苏亚电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过亚电科技南京有限公司;江苏亚电科技有限公司授权不得商用。