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本发明公开了一种金刚石薄膜试样及其制备方法和应用，该制备方法包括：对镶嵌包埋的金刚石膜上裸露出的待检测截面依次进行机械研磨、手动抛光和离子抛光。该制备方法针对金刚石薄膜的材质特性，通过镶嵌包覆试样，再通过特定的机械研磨、手动抛光以及离子抛光...
该专利属于广东省科学院新材料研究所所有，仅供学习研究参考，未经过广东省科学院新材料研究所授权不得商用。

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