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本发明属于红外探测领域，涉及一种新型红外热电堆传感器芯片及制备方法。本发明将热电堆与热敏电阻集成在一个芯片上，热敏电阻紧贴热电堆冷结，分布于硅基底四周。在传感器温度受外界影响发生快速变化，传感器热电堆芯片冷热端发生热失衡时，由于热敏电阻紧贴...
该专利属于上海格斐特传感技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海格斐特传感技术有限公司授权不得商用。

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