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本发明涉及生物芯片技术领域，具体是一种微珠芯片及其旋涂制备方法，所述的制备方法包括以下步骤：A、光刻胶蚀刻，B、旋涂法装载二氧化硅微球。采用本发明的旋涂法使微珠的入孔率达到99.8％‑99.99％，且能将所有没有压入小孔中的微珠100％清除...
该专利属于苏州拉索生物芯片科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州拉索生物芯片科技有限公司授权不得商用。

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