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本实用新型公开了一种半导体集成化模块化双层上下料机构，包括上层输送机构平台和下层输送机构平台，上层输送机构平台的顶部固定连接有缓冲块；上层输送机构平台连接有上光检开关，下层输送机构平台连接有下光检开关；上层输送机构平台的正面设置有自适应顶料...
该专利属于上海矩子科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海矩子科技股份有限公司授权不得商用。

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