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本实用新型提供一种化学机械研磨装置。所述化学机械研磨装置中，温度控制模块获得研磨垫表面的实时研磨温度后，向研磨液供给模块发送对应的第一设定温度的目标值，并向冷却液供给模块发送对应的第二设定温度的目标值，研磨液供给模块将具有第一设定温度的研磨...
该专利属于合肥晶合集成电路股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥晶合集成电路股份有限公司授权不得商用。

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