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本发明涉及关键电子气体原料及智能制备技术领域，具体为一种基于芯片与智能制造的电子气体制备系统及方法。本发明包括底板和支撑架，底板的顶部的一端固定安装有支撑架，还包括：第一处理机构、第二处理机构、定量下料机构、上料机构、冷却机构、液氮回收机构...
该专利属于刘振宇所有，仅供学习研究参考，未经过刘振宇授权不得商用。

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