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本发明属于质量传感技术领域，尤其涉及一种基于内共振的微量物质和驱动力同步传感器及方法；其中微驱动器固定在基座底部，达芬低频谐振单元固定在基座顶部，线性高频谐振单元底部固定在基座右端，且达芬低频谐振单元和线性高频谐振单元的振动方向正交；振动耦...
该专利属于吉林大学所有，仅供学习研究参考，未经过吉林大学授权不得商用。

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