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本发明公开了一种电子束蒸发镀Au的方法，涉及材料表面处理技术领域。本发明的一种电子束蒸发镀Au的方法，所述方法是以钨衬锅作为容器，将金属源放入钨衬锅内，经过手动熔源、二步预熔后进行蒸镀Au，所述二步预熔包括一段预熔和二段预熔，所述一段预熔电...
该专利属于威科赛乐微电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过威科赛乐微电子股份有限公司授权不得商用。

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