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本发明公开一种具有动密封的导入机构及其使用方法。所述具有动密封的导入机构，包括：主轴，跨越设置在第一真空区域和第二真空区域内，并在第一真空区域和第二真空区域之间形成间隔真空区域，且第一真空区域、间隔真空区域、第二真空区域之真空度呈逐级提升；...
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