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本发明提出一种自校正MEMS电容式湿度传感器及其制备方法，包括依次堆叠的帕尔贴制冷器及湿度敏感电容，将MEMS敏感电容与帕尔贴制冷器集成，从而通过帕尔贴制冷器控制敏感电容的温度，可以近似获得相对湿度为0和100%时的电容输出值。进而对湿度传...
该专利属于南京高华科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京高华科技股份有限公司授权不得商用。

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