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本发明公开了半导体制造领域内的一种晶圆用自动退膜机，包括固定铁环，固定铁环上设置有用于固定晶圆的的蓝膜，还包括设置在机架上的基座，基座上设置有用于支撑固定铁环的支撑架，所述支撑架包括两块相互平行的侧支撑板，两块侧支撑板的前部之间设置有前支撑...
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