下载一种用于硅片抛光粗抛工序的抛光液及其制备方法和应用的技术资料

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本发明公开了一种用于硅片抛光粗抛工序的抛光液及其制备方法和应用,属于抛光液领域,包括如下重量百分比的组分:二氧化硅胶体20%
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