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本发明公开了一种自动聚焦曝光方法，包括以下步骤：获取光刻胶板表面的平整数据；将所述平整数据中的每一个数值与设定的参考值进行比较，当所述平整数据中的某个数值与所述参考值差值的绝对值超过设定阈值时，使用过渡值代替该数值，当所述平整数据中的某个数...
该专利属于中山新诺科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中山新诺科技股份有限公司授权不得商用。

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