下载一种抗反射涂料组合物及其应用的技术资料

文档序号:28142372

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本发明提供一种抗反射涂料组合物,通过使用本发明所述消光树脂可强有力地吸收100~300nm的辐射,尤其在248nm下具有高吸光性能,消光系数K达0.4以上或0.5以上,从而允许使用较薄涂层和较短蚀刻时间,且制备得到的抗反射涂层材料容易清除,...
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