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本发明公开了一种溅射旋转靶材直线度检验装置，涉及溅射旋转靶材检测技术领域，为解决现有的旋转靶材的圆心与检测装置中心不处于同一条直线从而易出现检测偏差的问题。所述底座的内部设置有调节腔，所述底座上端的中间位置处分别安装有第一固定座和第二固定座...
该专利属于苏州科亿嘉新技术开发有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州科亿嘉新技术开发有限公司授权不得商用。

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