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一种电子束辅助碳基超润滑固体薄膜制备装置及方法制造方法及图纸
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下载一种电子束辅助碳基超润滑固体薄膜制备装置及方法的技术资料
文档序号:28138373
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本发明公开一种电子束辅助碳基超润滑固体薄膜制备装置及方法,包括镀膜腔室、PVD靶材、样品台、待镀膜工件和电子束辅助沉积组件,所述待镀膜工件设置在所述样品台上,所述PVD靶材、所述样品台均设置于所述镀膜腔室内,所述PVD靶材和所述待镀膜工件对...
该专利属于安徽工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过安徽工业大学授权不得商用。
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