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本发明提供一种MEMS芯片及其制作方法、MEMS麦克风。其中，所述MEMS芯片包括具有背腔的衬底以及设置在所述衬底同一侧的电容系统；所述电容系统包括振膜和背极板；所述振膜具有凹凸结构，所述背极板同样具有凹凸结构，且与所述振膜嵌套设置。与平面...
该专利属于山东新港电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东新港电子科技有限公司授权不得商用。

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