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本实用新型提供了一种腔内电极加热控制的装置，采用纯硬件电路检测/控制腔内电极的温度，使得温度控制更加灵敏，反馈速度更加快速。同时，在温度检测及控制模块中加入一路过温保护电路，用于实时监控腔内电极温度，当温度检测及控制模块异常导致腔内电极电路...
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