下载一种稳定性好的晶圆放置架的技术资料

文档序号:28075449

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本实用新型属于晶圆放置技术领域,尤其一种稳定性好的晶圆放置架,包括放置架本体,所述放置架本体内部中部靠上方间隔均匀固定连接有第一放置板,所述放置架本体中部靠下方间隔均匀固定连接有第二放置板,所述放置架本体下方左右两端均固定连接有支撑杆的上端...
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