温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种磁控溅射
...
该专利属于青岛市资源化学与新材料研究中心(中国科学院兰州化学物理研究所青岛研究发展中心)所有，仅供学习研究参考，未经过青岛市资源化学与新材料研究中心(中国科学院兰州化学物理研究所青岛研究发展中心)授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。