下载具有完全金属硅化层栅极的器件及其制造方法的技术资料

文档序号:28058229

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种具有完全金属硅化层栅极的器件及其制造方法,属于半导体技术领域。该器件具有两个多晶硅区域,其中一个为多晶硅栅极,另一个多晶硅区域为虚拟多晶硅区域(Dummy),器件顶部的硅化物与非硅化物的边界形成于该新增的虚拟多晶硅区域(Dum...
该专利属于时磊所有,仅供学习研究参考,未经过时磊授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。