温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及等离子发生器技术领域，提供了一种用于多极式等离子发生器的小阳极，所述小阳极设置于阴极与阳极之间，所述小阳极侧壁沿轴向设置有多个过水孔，所述过水孔由小阳极的一端面导通至另一端面；所述小阳极内壁面与阴极端之间而形成的供气体通过的侧壁气...
该专利属于成都金创立科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都金创立科技有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。