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本发明公开了一种用于超高真空的宽温区膜厚监测装置及监测方法，超高真空腔体内置有镀膜衬底和一个传感器探头；超高真空腔体底部设有蒸发源；传感器探头内设晶振片、加热板和测温元件，通过传感器探头连接温度控制器，对晶振片加热；通过传感器探头连接冷却介...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

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